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半导体产业中的硅晶圆生产,离不开超纯水设备

2023年03月29日 14:33:40 人气: 245 来源: 上海莱特莱德技术集团有限公司

  熟悉半导体领域的人都知道晶圆,但是对于不太关心科技的人来说那就是不曾听闻了。晶圆,简单来说就是半导体电路的核心组件,是一种承载物,制成半导体积体电路的原材料。

  作为半导体电路的重要组成部分,硅晶圆的生产至关重要,其清洗用水多为高质量的超纯水,超纯水质量也影响着硅晶圆产出的质量,那么什么样的超纯水设备才能产出高质量的超纯水呢?

超纯水 (3).jpg

  采用预处理+反渗透+EDI+抛光混床组合形式的超纯水设备方可制备出高质量的超纯水。该设备具有高效低能、运行成本低,水资源利用率高、体积较小、维修量小,运行的时间长等优点。设备应用的EDI模块水处理过程中不需要添加任何化学品,不仅减少了化学品运输问题,同时降低了系统运行费用。本模块不会有酸碱废液产生,所以不需要酸碱中和池,一般情况下,EDI水处理系统产出的浓水可以回收再利用。

  莱特莱德整套设备主要是消耗电量来维持系统运行,其耗电量比传统混床工艺低,无需树脂更换,自动化性能强,无需人工操作。设备能够连续稳定的制备品质优良的超纯水,采用的设计结构相对靠紧,所以其占地非常小,可以为企业节省很多空间,在符合硅晶圆生产用水水质标准的同时可以使水资源的利用率达到95%~99%,有效提升了水资源利用率。

  随着科技的不断进步,半导体行业不断的发展,我国对于该行业的政策支持,使得硅晶圆的市场需求也在不断增加,超纯水的需求也在悄然的增加。


关键词: 超纯水设备
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